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ナノ位置決めシステム
騒音なし、摩耗無し、ナノレベル位置決め
ZH Series
ZH20H
ZH20
精密昇降ステージ
最大負荷 Max payload(Kg): 80
最高速度Maximum Speed (m/s) :10
有效ストローク EffIcitve Stroke (mm):10
繰り返し位置決め精度 Repeatability (µm):±1
真直度-前後 Straightness-Front/Back(µm):10
真直度-左右 Straightness-Left/light(µm):10
平行度 Flatness (µm):40
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ZH20H
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最高速度Maximum Speed (m/s) :10
有效ストローク EffIcitve Stroke (mm):10
繰り返し位置決め精度 Repeatability (µm):±1
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