ナノ位置決めシステム

騒音なし、摩耗無し、ナノレベル位置決め

ZH Series

ZH20H ZH20

精密昇降ステージ

最大負荷 Max payload(Kg): 80
最高速度Maximum Speed (m/s) :10
有效ストローク EffIcitve Stroke (mm):10
繰り返し位置決め精度 Repeatability (µm):±1
真直度-前後 Straightness-Front/Back(µm):10
真直度-左右 Straightness-Left/light(µm):10
平行度 Flatness (µm):40


選定ガイド

簡単な操作で、ニーズに応じてモデルをすばやく選択します。